主动隔振系统

所有操作高灵敏度测量、生产或实验室系统的专业人员,都清楚隔振的必要性。环境中的振动激励无处不在——即便未被主观感知,仍会降低设备精度、准度及生产效率。多数系统对最大允许振动负荷有特定要求,这些要求可以通过‌振动标准曲线(VC曲线)来进行控制。若安装场地无法满足要求,就不能保证设备正常运行。另一方面,半导体行业等领域的生产设备与测试装置常配备运动型XY平台:为实现高循环速率,平台需以高加速度运行,且必须极速停止。Seismion 主动隔振系统通过‌高强度的主动稳定控制‌与‌较大的驱动力,能够显著缩短稳定时间,从而实现更高循环速率。

下图显示了与传统空气弹簧系统相比, Seismion主动隔振系统的隔振性能和瞬态响应。

1、低频域优势‌(≤10Hz)

低频范围尤为重要,因为脚步声和建筑物振动主要在这些低频范围内。Seismion主动隔振系统在低频段(表现卓越,其残余振动量仅为空气弹簧的 ‌1/7‌,部分频段甚至低至 ‌1/37,‌隔振效果明显优于空气弹簧。

2、瞬态响应或稳定时间也得到了显著改善。

当空气弹簧系统需要数秒才能平息振动使系统稳定,Seismion 主动隔振系统可在毫秒级时间内使系统趋于稳定。

Seismion 为各种不同的应用提供合适的主动隔振系统。从我们的紧凑型平台 Reactio plus 开始,这是一个可以放在桌子上的单一设备,有效载荷范围高达 100 公斤(高有效载荷版本为 150 公斤),一直到 Atlas,这是一个模块化系统,底部有紧凑的支脚装置,每个模块可承载高达 1 吨。

所有隔振器可提供 6 个自由度的主动补偿。


Seismion Atlas 是模块化主动隔振系统,支持3个(或以上)模块单元灵活配置,可根据应用负载与隔振需求进行定制。

  • 单元负载能力‌:100-1000kg;
  • 无限扩展性:可通过增加单元数量适配任意负载范围;
  • 动态强化版‌:专为快速稳定场景设计(如移动式XY平台高频运动响应);
  • 尺寸(每个):240x240x110 毫米。

Seismion Reactio beams 横梁式主动隔振系统,可通过调节梁间距适配不同设备尺寸需求。

  • 负载能力(适用于双单元系统):0-350 kg 和 0-700 kg;
  • 可兼容多种带/无安装孔(M6/25)的光学面包板;
  • 尺寸(每个):636x120x110 毫米。

Seismion Reactio plus 是我们的便携式主动隔振设备,是便携式Reactio 系列的迭代版本,兼容桌面级设备。标准版有效载荷范围是100kg(高负荷版的有效载荷为 150kg)。即使是1 Hz的干扰频率,它也提供最高的隔离性能。